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  國科會貴重儀器 FIB/SEM介紹

高解析雙粒子束-離子束顯微切削系統(Dual Beam Focused Ion Beam (DB-FIB))，包含電子槍與離子槍，在掃描式電子顯微鏡的架構下，同時結合離子槍，利用高能量Ga離子束直接撞擊試片表面，並將表面原子出，來達到試片特定圖案蝕刻之目的，主要可應用於定點TEM樣品製作、樣品剖面微結構觀察、光罩與元件之線路修補等。在國科會與本校的支持下，中正大學貴儀中心於2010年獲得新購儀器案之經費，購置此貴重儀器，與附件TEM試片擷取系統。竭誠歡迎各學術研究單位與產業界預約使用，主要進行金屬、半導體材料樣品顯微切割與觀察，同時提供TEM試片製作，若為教特殊之樣品或特別之操作服務，可事先與技術人員討論可能的使用方式，全力提供各研究單位所需之服務。

 預約使用                                 預約使用之詳細內容請參考文件說明。    

•儀器型號 :  FEI Quanta 3D FEG

•儀器概述 :

1. 場發射式電子束(Schottky emitter)，加速電壓 0.2~30KV，高真空模式解析度可達 1.2nm at 30 kV。
2. 聚焦離子束使用Ga金屬離子源，加速電壓 2~30KV，離子束電流 2pA~65nA，解析度達 5nm。
3. GIS系統，目前提供 Pt 沉積。
4. Image detector: 二次電子影像 (ETD, LVSED, GSED)、離子束影像 (ETD)、背向電子影像(BSED)。
5. 附件 : TEM試片擷取系統。

•服務項目 : (1)TEM試片製作，(2)試片縱剖面微結構分析，(3)元件故障分析，(4)奈米陣列，(5)線路修補

•儀器地點 :  中正大學理學院二館貴重儀器中心 R143室 。      MAP
•技術人員：點擊目前成員頁面或電洽（05）2720411 轉 23481 or 33410   詢問   
•服務時間 :  週一、週五，早上9:00~12:00，下午14:00~17:00。
•如何預約 :  科技部計劃之貴儀使用者，至貴儀中心網站預約。每月20日中午1點 ，開放預約次月份時段。
•業界服務 :  產業界若需服務，請先聯繫技術人員，評估樣品服務之可行性與安排時段。  
•收費標準 :  貴儀系統預約者，一操作時段(3小時)，每小時 5000元 。營利單位，每小時收費 8000元。
                        其他操作服務，如需額外費用，依 科技部會貴儀中心公告為準。
•便捷服務 :  預約操作儘可能本人親臨現場委託操作，若有不便者，亦可接受郵寄試片委託操作。

•注意事項 :      

1. 所有樣品均由本中心代為服務操作，預約者請在實驗三天前填寫申請表格，說明樣品欲觀測部位，先與技術人員討論操作內容。

2. 本機台主要提供各式金屬、半導體試片在高真空下之FIB切割與觀察之服務。若含少量高分子材料、導電性不佳之材料，必須事先說明 。

3. 本儀器為先進之精密設備，為維護儀器之性能，在切割服務中，若有可能污染儀器，拒絕受理不適合之片，如:強磁性材料試片（鐵鈷鎳)，有機物，高揮發性物質，低熔點金屬(如:In)，與有掉落疑慮之粉末 。

4. 試片若由高分子樹脂鑲埋，必須先自行以銅膠帶將樹脂區域包覆。

5. 試片若含有高揮發性分子或水分，請務必先自行烘烤抽除，再由技術人員進行檢測。

6. 試片直徑適合大小約在 2.5cm以內，高度在1cm以內。若為特殊尺寸，請事先與技術人員聯繫確認。

7. 導電性不佳及絕緣體試片，影像會飄移，無法切割，需自行鍍導電膜(Pt or Au)，現場無提供鍍膜理。

8. 試片處理若不適當，需現場進行改善，塗有銀膠之試片，必須進行烘烤。

相關資訊 : 中正大學貴儀中心FIB，國科會貴儀中心 ，交通資訊

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